由西湖大学孵化的西湖仪器ღ★，日前成功实现12英寸碳化硅衬底激光剥离自动化解决方案ღ★，大幅降低损耗ღ★，提升加工速度ღ★，推进了碳化硅行业降本增效ღ★。

　　与传统硅材料相比ღ★，碳化硅具有禁带宽度大ღ★、熔点高ღ★、热导率高等优点ღ★，能够在高温ღ★、高电压条件下稳定工作不朽情缘官网ღ★，已成为新能源和半导体产业升级的关键材料ღ★，其应用能够进一步推动了电动汽车ღ★、光伏发电ღ★、智能电网ღ★、无线通信等领域的技术变革ღ★。然而不朽情缘官网ღ★，碳化硅硬度仅次于金刚石ღ★，加工一直面临巨大挑战ღ★。传统切割方法犹如“锯木”ღ★，不仅效率低ღ★，损耗严重ღ★，还容易导致材料衬底翘曲ღ★，极大地限制了碳化硅的大规模应用ღ★。

　　凭借西湖大学仇旻团队在光电领域长期研发积累的技术优势美国猪ZOOMღ★，西湖仪器成功开发出一套全新的碳化硅激光剥离技术ღ★。该技术利用碳化硅的透光性ღ★，将激光打在材料内部形成数亿个极细小的“爆破点”ღ★，实现晶锭一层层自动剥离美国猪ZOOMღ★。“与传统切割相比ღ★，用激光剥离碳化硅衬底不仅定位精准ღ★，加工均匀ღ★，而且出片速度大幅提升mg不朽情缘官网ღ★！ღ★，材料损耗降低了一半ღ★。”仇旻说ღ★。另据预测ღ★，到2027年ღ★，全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元ღ★。而当下炙手可热的AR智能眼镜ღ★，同样以“碳化硅”为镜片材料完成性能跃迁ღ★，预计2030年全球AR智能眼镜市场规模将突破3000亿美元美国猪ZOOMღ★，成为碳化硅材料应用的又一个“新蓝海”不朽情缘官网ღ★。

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